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浙大学者研发出三维微纳加工“冰刻”术

2019-09-11 09:24:07 来源:冠山润生网 作者:匿名 阅读:668次

新华社杭州7月25日电(记者朱涵)零下130度左右的真空中,水蒸气会凝华成一层超级光滑的冰膜。浙江大学的学者利用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的“光刻胶”,制造出精细的三维“微雕”。这一“冰刻”技术有望为新型光电子器件提供技术支撑。

这一成果由浙江大学现代光学仪器国家重点实验室仇旻教授团队完成,日前发表在纳米材料领域权威期刊《纳米通信》上。

一些消费金融公司开始扭亏或扩大盈利。苏宁消费金融2017年度净利润为2.17亿元,2016年则净亏损1.89亿元。中国华融2016年年报显示,华融消费金融的税前利润为-0.368亿元,2017年年报净利润为1.05亿元。中邮消费金融、海尔消费金融2017年度分别实现净利润6775万元和4769万元。

只需冷却、冰层沉积、曝光、材料蒸镀和剥离五个步骤,通过这台构思巧妙的仪器,仇旻团队成功制造出金字塔、蘑菇、桥等三维造型。在简化步骤的同时,还能够保证精度,这些三维造型的分辨率达20纳米,定位精度在100纳米以下。“在平整光滑的冰膜上,电子束可以对冰膜雕刻出更多精巧的立体结构。”洪宇说。

[环球网综合报道]据俄罗斯卫星网6月25日报道,联合国秘书长古特雷斯表示,联合国随时准备就四川茂县山体垮塌向中国提供援助。

研究人员表示,“冰刻”三维加工技术有望应用到非平面衬底材料或易损柔性材料上,为基于量子点、纳米管、石墨烯、光纤等材料的新型光电子器件提供技术支撑。

具体来看,2017年全国共发生6次大范围霾天气过程、9次沙尘天气过程(仅有1次沙尘暴过程),均少于常年。

广西壮族女干部李康是广西扶绥人,1957年5月出生,同样学习工作经历一直在广西。作为恢复高考后的“新三届”大学生,李康从广西民族学院中文系毕业后一直留校工作。

在演练中两国军人什么状态?能产生怎样的化学反应?碰撞出的火花,连两国官兵们自己都没预料到。

对于实体店的回暖,业内分析人士认为,这是实体零售企业积极创新转型,新业态、新模式快速发展,传统商业场馆不断调整商品结构和业态结构的结果。不过,在我看来,更根本的一点是切中消费者的现实需求。有报道指出,最近随着同一商品线上线下价格差距越来越小,实体店又重新获得消费者青睐。但这只是其中一方面,倘若探究一些实体书店“逆袭”的案例,就不难发现更关键是用户体验。虽然集纳了咖啡、文创、展览的书店,看上去离传统样子越来越远,但却满足了到店顾客更多元化的消费需求,提供了网店所不能替代的新体验。再有相关报道提到的“小而美”的便利店风生水起的现象,通过提供更丰富优质的商品、更干净舒适的环境、更简单便捷的付费方式,便利店的总体景气指数始终能保持高水平,也在于紧紧抓住了消费者新的需求。

电子束曝光技术简称“光刻”,是当前最常用的微纳加工方案,充当模板的是“光刻胶”。理论上光刻的精度可以达到1纳米,但是实际情况下很难,仪器轻微的振动、外界磁场的干扰、操作人员的经验都会影响最终结果。

“如果用冰来代替光刻胶,当电子束打在冰层上,被打到的冰会‘自行消失’,不存在清洗难题。”仇旻团队设计搭建出一套“冰刻”设备,集制冷组件、注水组件、支撑组件、测温组件于一体,成功将“冰刻”技术推进到三维微纳器件加工领域。

“目前电子束曝光的精度大约在60-80纳米左右,相当于人头发丝的千分之一。随着微纳器件的小型化、精细化发展,光刻技术步骤繁琐、光刻胶易残留难清洗的局限也越发凸显。”论文第一作者、浙大博士生洪宇说。

耿爽介绍,在各方未达成一致的情况下,试图强行推动会议通过有争议的成果文件,把自己的案文强加给各方。这一做法违背了APEC协商一致的原则,损害了各方的共同利益。

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